|
潔凈級別 |
塵粒最大允許數 |
微生物最大允許數 |
ISO級數 |
||
|
≥0.5μm |
≥5μm |
浮游菌/m³ |
塵降菌/皿 |
||
|
100級 |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO，5級 |
|
100級 |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO，5級 |
|
100級 |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO，5級 |
|
100級 |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO，5級 |
|
潔凈等級 |
百級 | 千級 | 十萬級 | 三十萬級 |
| ≥0.5μm（個/m³） | ≤3500 | ≤35000 | ≤350000 | ≤1050000 |
| ≥0.5μm（個/m³） | ≤0 | ≤2000 | ≤20000 | ≤60000 |
| ≥0.5μm（個/m³） | ≤0 | ≤2000 | ≤20000 | ≤60000 |
| ≥0.5μm（個/m³） | ≤0 | ≤2000 | ≤20000 | ≤60000 |
| 靜壓差 | 相鄰不同級別空間的靜壓差絕對值應＞5pa；潔凈室與室外的靜電差＞10pa | |||
| 照度 | 一般宜為300LX，若工藝上有特殊要求則照工藝要求 | |||
| 噪音 | ≤65db（A） | |||
| 溫度 | 一般為18℃~26℃ | |||
| 相對濕度 | 一般為45%~65% | |||
| 換氣次數 | ≥100（次/h） | ≥50（次/h） | ≥20（次/h） | ≥10（次/h） |
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