編制：
審核：
2012年05月30日
一、前言：
為系統可順利移交業主，及其驗收標準，故研擬本計劃書。此計劃書大綱如下：
（1）測試方法。
（2）測試基準。
（3）測試表格。
二、時間：
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調試項目 |
開始日期 |
完成時間 |
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一、系統測試 |
2012/6/4 |
2012/6/5 |
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風壓測試 |
2012/6/4 |
2012/6/5 |
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風速測試 |
2012/6/4 |
2012/6/5 |
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落塵測試 |
2012/6/4 |
2012/6/5 |
|
無塵室溫、濕度測試 |
2012/6/4 |
2012/6/5 |
|
高效過濾器風口風量測試 |
2012/6/4 |
2012/6/5 |
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三、測試條件和程序：
1.無塵間測試基準：
-01）室外條件：夏季：35℃DB、70% 冬季：-5℃DB、50%RH
-02）室內條件：無塵室：溫度23±2℃、濕度為50±5% RH；噪音：65DBA以下
2.無塵間檢查測試程序：
（1）測試順序與時間：
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項次 |
項目 |
正式系統 |
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|
機房 |
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1 |
正壓建立 |
2012/6/3 |
NA |
|
2 |
CLEAN UP |
2012/6/3 |
NA |
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3 |
風壓測試 |
2012/6/4 |
NA |
|
4 |
風速測試 |
2012/6/4 |
NA |
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5 |
落塵測試 |
2012/6/4 |
NA |
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6 |
溫度、濕度測試 |
2012/6/4 |
NA |
|
|
高效過濾器風口風量測試 |
2012/6/4 |
NA |
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（2）檢查測試儀器及測試地點：
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目次 |
品名 |
儀器廠牌 |
測試地點 |
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1 |
風壓表 |
Bulletin A-27 |
無塵間三點測試 |
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2 |
風速計 |
TESTO-400 |
空調機供風管道 |
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3 |
溫度測量儀 |
SRS13-6IN-90-NI40200 |
空調機供風管道 |
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4 |
濕度測量儀 |
SRS13-6IN-90-NI40200 |
空調機供風管道 |
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5 |
落塵測試儀 |
Laster particle counter－0.3μm×1cfm |
無塵間內1.1米高度多個位置 |
A.風速、風量測試
（a）此檢測計劃在于確認室內總風量、風速是否合乎規范要求。
（b）檢測儀器：
經校正合格有效期一年內之風速計測試
（c）檢測點：檢測點位于主風管和高效過濾器下方300mm處，且每一過濾器取六點測試。
檢測儀器檢測時須以適當之架臺支撐或延伸架固定。
（d）驗收標準：
每一過濾器出口風速須較高于設計之空氣量規格。
備注：本項目每個風口設計風量為1500m³/h左右。
B.潔凈度（落塵量）(Cleanliness)
（a）此測試在于證明潔凈度合乎無塵室規范要求。
（b）檢測儀器：
Laster particle counter－0.3μm×1cfm檢測儀器測試
（c）檢測方法：每一無塵室潔凈度均須以Laster particle counter檢測。
-a）檢測點：以FS 209E亂流標準測測試點數N=(地板總面積)／(潔凈度等級平方根)，高度為高架地板/地板起1,100mm高度，每一檢測點測試時間為一分鐘。 (參考潔凈室：)
備注：本項目測試點數N=640/316.2≈2。
-b）檢測儀器檢測時須以上適當之架臺支持或以延伸架固定。
（d）驗收標準：FS 209E落塵控制量
（e）測試區域(等級100K)
a. 潔凈室清凈度粉塵檢測標準
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清靜度(級數) |
測定粒子(μm) |
||||
|
0.1 |
0.2 |
0.3 |
0.5 |
5.0 |
|
|
1,000 |
NA |
NA |
NA |
1,000 |
7 |
|
10,000 |
NA |
NA |
NA |
10,000 |
70 |
|
100,000 |
NA |
NA |
NA |
100,000 |
700 |
C.室內壓力(Room Pressurization)
（a）此測試在確保無塵室依甲方要求均維持在正壓狀態。
（b）檢測儀器：
檢測儀器須經校正合格且有效期一年內者，使用0~60Pa刻度型壓力計。
（c）測試方法：
-a）檢測點：三點測試
檢測點于無塵室內放置測試管并室外測試管做為壓差產生數據。
-b）室外大氣壓力假設為0.0mmAq壓力。
-d）于運行階段正常動作下之排氣系統排氣量調整為平衡狀態。
-e）驗收標準：壓力測試結果須較≥10Pa。
D.溫度及濕度(Temperature and Humidity)
（a）此項檢測系確認無塵室內溫度及濕度均在要求范圍內。
（b）檢測儀器
-a）檢測精確能力可達±0.5℃之pc溫度計或同級品。
-b）能力可達±2之電子濕度計或同級品。
-c）檢測儀器均須校正合格且在有效期一年內者。
-d）前或交付報告時均須檢附校正合格文件。
（c）檢測方法
-a）無塵室內每區取一點并位于地板上方1,100mm之高度處。
-b）每一檢測點至少須測試10MIN。
-c）測試點：5個點，特氣間2個點，實驗室2個點。
（d）驗收標準：檢測及監測數據均須在規范要求范圍內。
本項目設計值：溫度23±2℃、濕度為40-60%RH。
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