控制無塵車間空氣參數(shù)的目的—檢查無塵車間是否符合給定的潔凈度級別。無論是在投產(chǎn)調(diào)試工作完成后的無塵車間檢測階段，還是無塵車間使用階段都要完成空氣參數(shù)的控制工作。在各種標(biāo)準(zhǔn)和建議中都詳細(xì)地制訂了和提出了無塵車間空氣參數(shù)的測試和控制方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在無塵車間內(nèi)，按其用途的不同應(yīng)控制下列參數(shù)：
1、測試狀態(tài)的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風(fēng)速和單向性（對單向氣流而言）
4、風(fēng)量和換氣次數(shù)
5、最終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、無塵車間的密閉性
8、無塵車間表面的潔凈度
測試狀態(tài)的確定：根據(jù)設(shè)計要求，一般無塵車間都是對無塵車間內(nèi)的空氣進(jìn)行靜態(tài)檢測，一般不做動態(tài)檢測，如需動態(tài)檢測，需要制定或參照其他標(biāo)準(zhǔn)。
潔凈度級別
無塵車間和潔凈區(qū)均按一項指標(biāo)劃分級別—一定粒徑粒子的最大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數(shù)）。
空氣潔凈度級別和空氣潔凈度的測定方法均按下表中的規(guī)定確定，根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，的潔凈級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的最大允許濃度確定的。
在確定實際無塵車間的潔凈度級別時，應(yīng)對粒徑≥閥值的粒子進(jìn)行統(tǒng)計，下面的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數(shù)級別序數(shù)N和最常見值D的粒子最大允許濃度
|
ISON級 |
粒子最大允許濃度Cn顆m3，粒徑≥下列值，微米 |
|||||
|
0.1 |
0.2 |
0.3 |
0.5 |
1.0 |
5.0 |
|
|
ISO 1級 |
10 |
2 |
- |
- |
- |
- |
|
ISO 2級 |
100 |
24 |
10 |
4 |
- |
- |
|
ISO 3級 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
- |
|
ISO 4級 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
- |
|
ISO 5級 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
|
ISO 6級 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
|
ISO 7級 |
- |
|
|
352000 |
83200 |
2930 |
|
ISO 8級 |
- |
|
|
3520000 |
832000 |
29300 |
|
ISO 9級 |
- |
|
|
35200000 |
8320000 |
293000 |
|
備注：濃度值Cn應(yīng)四舍五入，小數(shù)點后保留三位，在實際情況下粒子濃度的實際誤差是存在的，求不出精度很高的濃度。 |
||||||
ISO 4級；靜態(tài)；給定粒徑0.5微米（352粒子/m3）。
ISO 5級；靜態(tài)；給定粒徑0.5微米（3520粒子/m3）；5.0微米（29粒子/m3）。
因此，在測試具體的無塵車間的相應(yīng)潔凈度級別時，不需要檢測如上表所示的該級別的所有粒子粒徑。而只要檢測為該種無塵車間給定的粒子粒徑。
在檢測無塵車間的潔凈度級別時，應(yīng)測定無塵車間內(nèi)1點或數(shù)點的懸浮粒子濃度（即取樣點的粒子濃度）。
因此必須滿足下列要求
1）確認(rèn)無塵車間的狀態(tài)與給定的相符；
2）確定給定粒徑，無塵車間取樣點的數(shù)量和位置；
3）確定每一取樣點的取樣數(shù)量；
4）確定對每一種給定粒徑在每1取樣點上，每1次取樣的取樣量和取樣時間；
5）取樣之后應(yīng)對每一種給定粒徑的粒子進(jìn)行相應(yīng)統(tǒng)計；
6）將取樣數(shù)據(jù)填入按各種給定粒徑統(tǒng)計的粒子統(tǒng)計記錄表內(nèi)（適于采用無計算機(jī)軟件的粒子計數(shù)器的場合下）；
7）整理取得的數(shù)據(jù)；
8）對結(jié)果進(jìn)行分析；
9）整理方案確定級別應(yīng)符合上表要求。
在無塵車間中的氣流：
氣流風(fēng)速（通常是控制單向氣流的風(fēng)速）
氣流均勻性（單向氣流風(fēng)速穩(wěn)定性）并目視檢查氣流。
空氣（單向氣流）的風(fēng)速和風(fēng)量
空氣單向氣流的風(fēng)速是在垂直于氣流方向的平面上并距離風(fēng)源150-500mm處測得的。
測試點的數(shù)量應(yīng)大于被測表面面積的平方根，但不得小于3，應(yīng)在每一個設(shè)定的網(wǎng)格中進(jìn)行測量，測量點應(yīng)均勻地分布在平面上。
應(yīng)在距離過濾器表面150mm處測試過濾器出口處的風(fēng)速。在評價氣流的均勻性時，應(yīng)在距離過濾器表面300mm以上處測試風(fēng)速。
每1點的測量時間不得少于10秒。并且要確定平均值，最大和最小值。
氣流的均勻性
根據(jù)在垂直于空氣運(yùn)動方向的平面上各點的風(fēng)速測試數(shù)據(jù)，評價單向氣流的均勻性，建議該平面應(yīng)距離過濾器表面（風(fēng)口）300毫米以上。
平面上各點處的風(fēng)速相差不得超過20%-30%。
檢驗過濾器的整體性
最終過濾器（HEPA，ULPA過濾器）是無塵車間的重要部分。這些過濾器安設(shè)在無塵車間的吊頂和墻上，裝在設(shè)備和風(fēng)管內(nèi)。應(yīng)進(jìn)行泄漏檢查，以控制過濾器的整體性，過濾器的滲漏意味著粒子的滲漏，會超過ГOCTP5125-99。(原文 )
制造商應(yīng)在廠內(nèi)對過濾器作最大穿透粒徑試驗，附過濾器檢測報告，現(xiàn)場不做檢漏。
溫度的檢測
在無塵車間內(nèi)采用兩種方法控制溫度：
一般控制
特殊控制
（一般控制）在通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)投產(chǎn)-調(diào)試時，以及在無塵車間檢測的各個階段和使用階段均要進(jìn)行溫度的一般控制。
規(guī)定工作席工作區(qū)高度處的溫度，以及必要時，其他工作點的溫度都要加以控制。
在1小時或更多一些的時間內(nèi)應(yīng)周期性的連續(xù)測試6分鐘。
相對濕度的控制
待通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)工作穩(wěn)定后，相對濕度的控制可與溫度的測量同時進(jìn)行。
至少在每一處對相對濕度有要求的區(qū)域內(nèi)設(shè)1個點進(jìn)行相對濕度的測量，為了使傳感器持續(xù)穩(wěn)定，測量的持續(xù)時間不得少于6分鐘。
潔凈實驗室技術(shù)指標(biāo)
|
序號 |
房間名稱 |
面積 |
潔凈度 |
對外 壓差 |
溫度 |
濕度 |
照度 |
新風(fēng) |
排風(fēng) |
|
|
M2 |
級 |
Pa |
℃ |
%RH |
Lux |
% |
||||
|
1 |
萬級鑒定室1 |
23 |
7（萬） |
+20 |
20-26 |
40-70 |
300 |
30 |
無 |
|
|
2 |
萬級鑒定室2 |
16 |
7（萬） |
+20 |
20-26 |
40-70 |
300 |
30 |
無 |
|
|
3 |
萬級鑒定室3 |
10.3 |
7（萬） |
+20 |
20-26 |
40-70 |
300 |
30 |
無 |
|
|
4 |
緩沖間 |
6 |
7（萬） |
+15 |
20-26 |
40-70 |
200 |
30 |
無 |
|
|
5 |
準(zhǔn)備間 |
2.6 |
無 |
0 |
20-26 |
40-70 |
200 |
30 |
無 |
|
|
（2）百級、千級實驗室 |
||||||||||
|
1 |
百級實驗室2 |
15.00 |
5（百） |
+20 |
20-26 |
40-70 |
300 |
30 |
無 |
|
|
2 |
百級實驗室1 |
6.10 |
5（百） |
+20 |
20-26 |
40-70 |
300 |
30 |
無 |
|
|
3 |
千級實驗室2 |
18.20 |
6（千） |
+15 |
20-26 |
40-70 |
300 |
30 |
無 |
|
|
4 |
千級實驗室1 |
15.70 |
6（千） |
+15 |
20-26 |
40-70 |
300 |
30 |
無 |
|
|
5 |
千級潔凈 走 廊 |
11.40 |
6（千） |
+10 |
20-26 |
40-70 |
250 |
30 |
無 |
|
|
6 |
千級潔凈 準(zhǔn)備間 |
|
7（萬） |
+10 |
20-26 |
40-70 |
250 |
30 |
無 |
|
|
6 |
更衣間 |
10.40 |
7（萬） |
+10 |
20-26 |
|
200 |
30 |
無 |
|
格式1（式樣）
記錄書
工段， 無塵車間取樣
取樣時期
房間狀態(tài)
（空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)）
給定潔凈度級別
給定閥徑粒徑，微米
粒子的最大允許濃度，粒子/m3
取樣量，升
取樣時間，分鐘
取樣點數(shù)量r
每1取樣點上的取樣次數(shù)，P
粒子計數(shù)器
取樣點位置示意圖
|
取樣點編號 |
1m3空氣中的粒子數(shù)或濃度，其粒徑為 |
|
|
≥0.5 |
≥5.0 |
|
|
1 |
|
|
|
2 |
|
|
|
3 |
|
|
|
4 |
|
|
|
5 |
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